堀场HORIBA红外线辐射温度计
简要描述:
堀场HORIBA红外线辐射温度计IT-470F-H这是高精度的仪器安装式辐射温度计,它采用了内部开发的高度发达的热电堆传感器,并结合了辐射温度计开发的多年专业知识。它有助于改善需要高精度温度测量的领域的工艺稳定性,例如半导体和FPD制造。
产品型号:IT-470F-H
产品时间:2024-05-17
IT-470F-H堀场HORIBA红外线辐射温度计特点:
- 高精度:±0.1°C ※和再现性(2σ):0.1°C ※实现
- 在150 mm的测量距离内实现mm8 mm的窄视场
- 两个输出:多功能电流输出和光学数字输出,不易受电磁感应噪声的影响
※在一定条件下使用时是能力值。
使用
- 基座温度测量例在真空室中时,
可以是从真空室外部温度测量通过所述基座的一个窗口。
- FPD制造过程中液晶基板的表面温度测量示例
非接触式测量不会损坏待测物体的表面。
- 抛光时的温度控制示例
非接触式测量不会损坏待测物体的表面。
堀场HORIBA红外线辐射温度计技术参数:
测量波长 | 8至14微米 |
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测量温度范围 | -50至200°C |
输出分辨率 | 光学数字输出:0.1°C,电流输出:0.025%FS或更低 |
测量精度* | ±4.0°C(目标温度-50°C) |
再现性 | 0.7°C(目标温度-50°C) |
响应速度 | 光学数字输出:小于1.4秒(移动平均1秒,95%响应) |
数据采样期 | 0.1秒 |
数据传输率 | 光学数字输出:0.2秒,电流输出:0.1秒 |
测量视野 | 8 8毫米或更少/距离150毫米(入射光量90%) |
发射率设定 | 0.001至0.999可选(出厂时设定) |
工作温度和湿度范围 | 温度0-55°C,相对湿度35-85%RH(无冷凝) |
电源 | DC24V±5% |
功能 | 光学数字输出(JIS F05型),电流输出4至20 mA(负载电阻100Ω,非绝缘)法兰调整 |
物理尺寸 | 55 x 44 x 96 mm电源,带电流电缆(标准长度2 m) |
块 | 300克以内 |